%0 Journal Article %T 新型集成压力传感器的研究 %A 张维新 %A 毛赣如 %A 曲宏伟 %A 姚素英 %A 李建文 %J 半导体学报 %D 1996 %I %X 本文介绍一种新型集成压力传感器.它是利用集成电路技术和微机械加工技术相结合,将半导体力敏电阻和双稳态触发器电路结合在一起,制作触发器型集成压力传感器.文章对该类传感器的工作原理,电路结构进行了理论分析,并对实验结果进行了讨论.重点分析了噪声对传感器特性的影响,在测试电路中加入调控三角波电压,可以改善传感器的特性. %K 集成压力传感器 %K 传感器 %K 集成电路 %K 压力传感器 %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=65C568AD73836400&yid=8A15F8B0AA0E5323&vid=BCA2697F357F2001&iid=B31275AF3241DB2D&sid=8D75AD3BD0D1BCC5&eid=AC2617B68B137D9D&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=1&reference_num=2