%0 Journal Article
%T 新型集成压力传感器的研究
%A 张维新
%A 毛赣如
%A 曲宏伟
%A 姚素英
%A 李建文
%J 半导体学报
%D 1996
%I 
%X 本文介绍一种新型集成压力传感器．它是利用集成电路技术和微机械加工技术相结合，将半导体力敏电阻和双稳态触发器电路结合在一起，制作触发器型集成压力传感器．文章对该类传感器的工作原理，电路结构进行了理论分析，并对实验结果进行了讨论．重点分析了噪声对传感器特性的影响，在测试电路中加入调控三角波电压，可以改善传感器的特性．
%K 集成压力传感器
%K 传感器
%K 集成电路
%K 压力传感器
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=65C568AD73836400&yid=8A15F8B0AA0E5323&vid=BCA2697F357F2001&iid=B31275AF3241DB2D&sid=8D75AD3BD0D1BCC5&eid=AC2617B68B137D9D&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=1&reference_num=2