%0 Journal Article
%T 硅中的氮氧复合物和碳氧复合物
%A 刘培东
%A 余思明
%A 李立本
%A 张锦心
%A 阙端麟
%J 半导体学报
%D 1992
%I 
%X 前文1]指出,硅中的氮氧复合物实质上是氮对-硅-氧复合体.本文运用这一结构模型预测了新的实验事实,并用实验进行了验证,同时分析了硅中的碳氧复合物,提出了硅中碳与氧,氮与氧相互作用的新见解.
%K 硅
%K 氮氧复合物
%K 碳氧复合物
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=36CE279D0368F74E&yid=F53A2717BDB04D52&vid=FC0714F8D2EB605D&iid=708DD6B15D2464E8&sid=6CDD207A90CE1EEC&eid=7D2B339649A57040&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=5&reference_num=4