%0 Journal Article
%T GaAs(100)面硫钝化的HREELS与XPS研究
%A 朱建红
%A 候晓远
%A 丁训民
%A 金晓峰
%A 陈平
%J 半导体学报
%D 1991
%I 
%X 用高分辨电子能量损失谱(HREELS)结合XPS研究了硫钝化的GaAs(100)面.HREELS的结果与XPS一致,证明钝化后GaAs(100)面的自然氧化物被完全除去,样品表面形成了一层主要由As-S键构成的钝化层.钝化样品表面的沾污主要是H_2O与碳氢化合物.在钝化前增加样品在浓HC1中浸泡的处理,能使沾污物在真空退火后被彻底除去.
%K GaAs
%K 硫纯化
%K HREELS
%K XPS
%K 氧化物
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=1FECB671E5C458FB&yid=116CB34717B0B183&vid=59906B3B2830C2C5&iid=59906B3B2830C2C5&sid=8CC50269EED5BB47&eid=81D76BB45305F8B7&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0