%0 Journal Article
%T Investigation on Nanocrystalline ZnO Thin Films Prepared by Thermal Oxidation of ZnS Thin Films<br>热氧化制备纳米氧化锌薄膜的光致发光和室温紫外激光发射
%A Zhang Xitian
%A Liu Yichun
%A Zhi Zhuangzhi
%A Zhang Jiying
%A Shen Dezhen
%A Xu Wu
%A Zhong Gouzhu
%A Fan Xiwu
%A <br>张喜田
%A 刘益春
%A 支壮志
%A 张吉英
%A 申德振
%A 许武
%A 钟国柱
%A 范希武
%J 半导体学报
%D 2003
%I 
%X 利用低压 -金属有机汽相外延 (L P- MOCVD)工艺首先在二氧化硅衬底上生长硫化锌 (Zn S)薄膜 ,然后 ,将硫化锌薄膜在氧气中于不同温度下进行热氧化 ,制备出高质量的纳米氧化锌 (Zn O )薄膜 .X射线衍射 (XRD)结果表明 ,氧化锌具有六角纤锌矿晶体结构 .90 0℃氧化样品的光致发光 (PL )谱中 ,在波长为 3.3e V处观察到一束强紫外光致发光和相当弱的深能级发射 .紫外发光强度与深能级发射强度之比是 80 ,表明纳米 Zn O薄膜的高质量结晶 .在受激发射实验中观察到紫外激光发射 .
%K nanometer
%K thermal oxidation
%K ZnO thin film
%K photoluminescence
%K optically pumped lasing
%K free exciton<br>纳米
%K 热氧化
%K ZnO薄膜
%K 光致发光
%K 光泵浦激光发射
%K 自由激子
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=79BB37FD04AC6EE1&yid=D43C4A19B2EE3C0A&vid=B91E8C6D6FE990DB&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=1AE5323881A5ECDC&eid=B6DA1AC076E37400&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=8&reference_num=13