%0 Journal Article
%T Influence of Pretreatment Conditions of Stainless Steel Substrates on Field Emission Properties of Carbon Nanotubes Films
不锈钢衬底的预处理条件对碳纳米管薄膜场发射性能的影响(英文)
%A Fan Zhiqin
%A Zhang binglin
%A YAO Ning
%A Lu Zhanling
%A Yang Shie
%A Ma Bingxian
%A
樊志琴
%A 张兵临
%A 姚宁
%A 鲁占灵
%A 杨仕娥
%A 马丙现
%J 半导体学报
%D 2004
%I
%X 在不同预处理条件的不锈钢衬底上,利用微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)方法从甲烷和氢气的混合气体中沉积碳纳米管薄膜,并对其场发射性能进行了研究.实验发现,不锈钢衬底的机械抛光和酸洗,能降低碳纳米管膜的开启场强,增大它的发射电流密度.在场强为6.25V/μm时,衬底未处理样品的电流密度为1.2mA/cm2,而衬底抛光的样品和衬底抛光又酸洗的样品的电流密度分别达到3.2和2.75mA/cm2.衬底只需机械抛光,而不需要酸洗,就能改良碳纳米管膜的场发射性能
%K carbon nanotube
%K MWPCVD
%K field emission
%K Raman spectroscopy
碳纳米管膜
%K MWPCVD
%K 场发射
%K Raman光谱
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=532FE034086641BA&yid=D0E58B75BFD8E51C&vid=C5154311167311FE&iid=708DD6B15D2464E8&sid=9C959CAF55D6B1C2&eid=98B9E7974D86A0EF&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=14