%0 Journal Article
%T Low-Cost, High-Reflectivity Silicon-on-Reflector for Optoelectronic Device Application<br>用于光电子器件的低成本、高反射率SOR衬底(英文)
%A LI Cheng
%A YANG Qin-qing
%A WANG Hong-jie
%A WANG Qi-ming
%A <br>李成
%A 杨沁青
%A 王红杰
%A 王启明
%J 半导体学报
%D 2001
%I 
%X 报道了一种包含一薄层单晶硅和隐埋 Si/Si O2 布拉格反射器的 SOR衬底 .这种可用于光电子器件的衬底是由硅基乳胶粘接和智能剥离技术研制而成的 .在垂直光照条件下 ,这种 SOR衬底在 1.3μm处的反射率接近10 0 %
%K silicon
%K on
%K reflector
%K SiO
%K 2/Si Bragg
%K reflector
%K smart
%K cut technique
%K optoelectronic device
%K photodetector<br>SOR
%K SiO2/Si布拉格反射器
%K 智能剥离技术
%K 光电子器件
%K 光探测器
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=5A834AD0AB84BF07&yid=14E7EF987E4155E6&vid=BC12EA701C895178&iid=38B194292C032A66&sid=4D7D059FFBF006B9&eid=7ABC4505E3960D2B&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=3&reference_num=12