%0 Journal Article
%T 半导体器件中金刚石散热器热性能的传输线矩阵(TLM)法分析
%A 谢志坤
%A 沈进进
%A 陈抗生
%J 半导体学报
%D 1998
%I 
%X 本文将传输线矩阵（ＴｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎＬｉｎｅＭａｔｒｉｘ，ＴＬＭ）法运用到热扩散问题的求解中，通过对模型的建立、迭代算法的步骤、边界的处理等问题的讨论，详细阐述了传输线矩阵（ＴＬＭ）法用于分析热扩散问题时的基本理论．最后以半导体器件中金刚石薄膜散热器为例进行了实例分析．
%K 半导体器件
%K 金刚石
%K 散热器
%K 传输线矩阵法
%K TLM法
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=F109CA3D10D761F2&yid=8CAA3A429E3EA654&vid=2A8D03AD8076A2E3&iid=9CF7A0430CBB2DFD&sid=09F7C8D609E885AE&eid=780091CB32840698&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=4&reference_num=2