%0 Journal Article
%T GaAs薄膜电沉积机理的初探
%A 韩爱珍
%A 林逸青
%A 赵永春
%A 高元恺
%J 半导体学报
%D 1997
%I 
%X 本文叙述了电沉积制备GaAs薄膜的原理．我们在不同的基片上均成功地得到了成分接近化学计量比的GaAs薄膜．初步探讨了GaAs薄膜的电沉积机理．
%K 砷化镓
%K 薄膜
%K 电沉积机理
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=2AAD012329ED281E&yid=5370399DC954B911&vid=13553B2D12F347E8&iid=94C357A881DFC066&sid=A7AE820C12CC9AD3&eid=05340B75C67FF664&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=9&reference_num=3