%0 Journal Article %T 高质量GaAs-AlGaAs材料MBE生长研究及其应用 %A 杨国文 %A 肖建伟 %A 徐遵图 %A 郑婉华 %A 曾一平 %A 徐俊英 %A 张敬明 %A 陈良惠 %J 半导体学报 %D 1995 %I %X 通过对分子束外延(MBE)中影响GaAs、AlGaAs材料生长的一些关键因素的分析、实验与研究,得到了具有很好晶格完整性和高质量电学、光学特性的GaAs、AlGaAs单晶材料,实现了75mm大面积范围内的厚度、组分和掺杂等的很好均匀性.研制了高质量的GaAs/AlGaAs量子阱超晶格材料,并应用于量子阱激光器材料的研制,获得了具有极低阈值电流密度、低内损耗、高量子效率的高质量量子阶激光器外延材料. %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=A315E40D6A683764&yid=BBCD5003575B2B5F&vid=7801E6FC5AE9020C&iid=5D311CA918CA9A03&sid=821800203AD09E7B&eid=250DF325A002B9CC&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0