%0 Journal Article %T 四极SIMS对Al_xGa_(1-x)As中Si的定量分析 %A 姜志雄 %A 查良镇 %A 王佑祥 %A 陈春华 %A 陈新 %J 半导体学报 %D 1996 %I %X 本文讨论了用MIQ-156四极SIMS仪器对AlxGa(l-x)As中Si进行定量分析的实验方法,考察了测量结果的重复性及x变化时SiRSF的变化规律,在IMS-4fSIMS仪器上进行了对比测试,用Cs+源对(29)Si的原子检测限达到4×10(15)cm(-3). %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=32EBEE02197D7732&yid=8A15F8B0AA0E5323&vid=BCA2697F357F2001&iid=B31275AF3241DB2D&sid=65C08888CCE4801E&eid=CB3428B1EFB1C133&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0