%0 Journal Article
%T 四极SIMS对Al_xGa_（1－x）As中Si的定量分析
%A 姜志雄
%A 查良镇
%A 王佑祥
%A 陈春华
%A 陈新
%J 半导体学报
%D 1996
%I 
%X 本文讨论了用ＭＩＱ－１５６四极ＳＩＭＳ仪器对ＡｌｘＧａ（ｌ－ｘ）Ａｓ中Ｓｉ进行定量分析的实验方法，考察了测量结果的重复性及ｘ变化时ＳｉＲＳＦ的变化规律，在ＩＭＳ－４ｆＳＩＭＳ仪器上进行了对比测试，用Ｃｓ＋源对（２９）Ｓｉ的原子检测限达到４×１０（１５）ｃｍ（－３）．
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=32EBEE02197D7732&yid=8A15F8B0AA0E5323&vid=BCA2697F357F2001&iid=B31275AF3241DB2D&sid=65C08888CCE4801E&eid=CB3428B1EFB1C133&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0