%0 Journal Article
%T 硼磷硅玻璃在俄歇电子谱分析中的电子束和离子束辐照效应
%A 陈维德
%A H.Bender
%J 半导体学报
%D 1991
%I 
%X 本文研究了硼磷硅玻璃(BPSG)膜在俄歇电子谱(AES)分析中电子束和离子束辐照效应.结果表明,能量电子和离子非常容易引起辐照损伤.电子束辐照会引起还原和脱附效应以及磷硼的表面分凝;离子束辐照仅仅引起还原效应,不会产生磷和硼的表面堆积现象.这说明磷和硼的表面分凝是与低能电子组成的表面负电荷有关.
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=11B2C96D038EC829&yid=116CB34717B0B183&vid=59906B3B2830C2C5&iid=94C357A881DFC066&sid=03E56C113B4E5A88&eid=334C61CAF4C8EF4E&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0