%0 Journal Article
%T 电极、互联线寄生电容数值分析新模型
%A 陈维友
%A 刘式墉
%J 半导体学报
%D 1991
%I 
%X 本文以矩量法和矩形面元上的自由空间格林函数为基础,采用多电像法给出一个计算电极,互联线寄生电容的新模型.采用该模型,我们开发了一个微机上运行实现自动矩形面元剖分的寄生电容计算程序,并对一个实际GaAs-MESFET的电极寄生电容进行计算,讨论了钝化层厚度,介电常数对电极寄生电容的影响.
%K 集成电路
%K 互连线
%K 寄生电容
%K 相关性
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=9687A7AB570B1212C043E324537F13D4&yid=116CB34717B0B183&vid=59906B3B2830C2C5&iid=E158A972A605785F&sid=FBA00558C57D9C11&eid=10828928EB89AD8E&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0