%0 Journal Article
%T Microstructure and Nonlinear Optical Properties of Very Small Size GaAs Nanogranulae Embedded in SiO_2 Matrix by Magnetron Co-Sputtering<br>磁控共溅射GaAs/SiO_2细小纳米颗粒镶嵌材料的结构和非线性光学性质(英文)
%A Ding Ruiqin
%A Wang Hao
%A She Weilong
%A Qiu Zhiren
%A Luo Li
%A W Y Cheung
%A S P Wong
%A <br>丁瑞钦
%A 王浩
%A 佘卫龙
%A 丘志仁
%A 罗莉
%J 半导体学报
%D 2002
%I 
%X 应用磁控共溅射技术和后退火方法制备了 Ga As/ Si O2 纳米颗粒镶嵌薄膜 ,并分别应用原子力显微镜、X射线衍射和卢瑟福背散射实验来观测薄膜的形貌、相结构和化学组分 .结果表明 Ga As纳米颗粒的平均直径很小 (约为1.5～ 3.2 nm) ,且均匀地分布于 Si O2 之中 ,薄膜中的 Ga As和 Si O2 组分都符合化学计量关系 .应用脉冲激光高斯光束对薄膜的光学非线性进行了 Z扫描测试和分析 .结果表明 ,薄膜的三阶光学非线性折射率系数和非线性吸收系数都由于量子限制效应而大大地增强 ,在非共振条件下 ,它们分别约为 4× 10 - 1 2 m2 / W和 2× 10 - 5m/ W,在准共振
%K magnetron co
%K sputtering
%K GaAs nanogranula
%K microstructure
%K optical nonlinearity<br>磁控共溅射
%K GaAs纳米颗粒
%K 微观结构
%K 光学非线性
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=44819CB6B1A5FFAA&yid=C3ACC247184A22C1&vid=EA389574707BDED3&iid=38B194292C032A66&sid=9CA95D22FC1D537C&eid=E2E0FBFE4D7EFB94&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0