%0 Journal Article
%T 连续波电光检测法用于检测超薄层异质结外延材料均匀性的研究
%A 苏小元
%A 朱祖华
%J 半导体学报
%D 1997
%I 
%X 本文以连续波电光检测法（CWEOP）为基本原理，设计完成了自动电光检测系统，并采用锁相放大技术，对超薄层异质结外延材料进行了电场分布的测试，由此对其均匀性进行了评估．通过实验探讨了超薄层异质结外延材料2DEG分布不均匀的电光检测标准、最佳测试条件等，并对影响测量结果的因素进行了分析．本方法的突出优点是能够无损地对超薄层异质结外延材料不均匀的2DEG进行定位．
%K 分子束外延
%K 连续波电光检测
%K 异质结
%K 外延材料
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=94A8A575636CF862&yid=5370399DC954B911&vid=13553B2D12F347E8&iid=94C357A881DFC066&sid=406BF8ED3BCE1927&eid=26AEEED215BE97D0&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=5