%0 Journal Article
%T 硅片的抗弯强度及其测量
%A 谢书银
%A 石志仪
%J 半导体学报
%D 1995
%I 
%X 研究了硅片抗弯强度，提出了一种圆片冲击定量测定硅片抗弯强度的方法，讨论了其准确度及精度并通过实验进行了偏离小挠度的校准．
%K 半导体器件
%K 硅片
%K 抗弯强度
%K 测量
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=68B56D696C6340EA&yid=BBCD5003575B2B5F&vid=7801E6FC5AE9020C&iid=5D311CA918CA9A03&sid=54E527C5B72E59D8&eid=6837BC93241057EF&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=2&reference_num=3