%0 Journal Article
%T Fabrication of a Pressure Sensor Gauge Chip Based on SIMOX<br>基于SIMOX的耐高温压力传感器芯片制作
%A Wang Quan
%A Ding Jianning
%A Wang Wenxiang
%A Xiong Bin
%A <br>王权
%A 丁建宁
%A 王文襄
%A 熊斌
%J 半导体学报
%D 2005
%I 
%X 针对石油化工等领域中高温下较高压力测量的要求，设计了压阻式压力传感器敏感芯片，采用SIMOX技术的SOI晶片，在微加工平台上通过低压化学气相淀积法(LPCVD)均相外延硅测量层、浓硼离子注入、热氧化、光刻、电感耦合等离子体（ICP）深刻蚀、多层合金化等工艺流程制作了该芯片，将其封装后，研制出了高精度稳定性佳的耐高温压阻式压力传感器．封装工艺进一步改善后，该芯片工作温区有望拓宽到300～350℃．
%K high temperature pressure sensor
%K SIMOX
%K LPCVD
%K ICP<br>高温压力传感器
%K SIMOX
%K 低压化学气相淀积
%K 电感耦合等离子体深刻蚀
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=15A65224FA7F595D&yid=2DD7160C83D0ACED&vid=96C778EE049EE47D&iid=5D311CA918CA9A03&sid=2C0CC79052581771&eid=1AC2995B88F4B692&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=10