%0 Journal Article
%T Effect of Non-Parallel Combs of Capacitive Micro-Sensor on Reliable Operation Range<br>梳齿的不平行对电容式微机械传感器可靠工作范围的影响
%A Dong Linxi
%A Che Lufeng
%A Wang Yuelin
%A <br>董林玺
%A 车录锋
%A 王跃林
%J 半导体学报
%D 2005
%I 
%X 分析了梳齿电容式传感器梳齿极板间的不平行在三种电容驱动下，对传感器的可靠性工作范围的影响。结果表明梳齿电容在同样的电压驱动下，当电容极板间的倾斜角由0.1度变到0.5度时，单边电容结构和双边电容结构的可靠工作范围分别变为电容极板完全平行时的0.45、0.56。对力平衡的双边梳齿电容结构，当倾斜角由0.1o变到0.15o时，可靠工作范围分别变为原来的0.925。并针对DRIE工艺刻蚀梳齿的原理，讨论了改进方法。
%K capacitive sensor
%K inertial sensor
%K reliable operation condition
%K pulse signal<br>电容式传感器
%K 惯性传感器
%K 可靠工作范围
%K 脉冲信号
%K 电容式
%K 微机械传感器
%K 可靠工作范围
%K 影响
%K Range
%K Operation
%K Reliable
%K Capacitive
%K 改进方法
%K 原理
%K 刻蚀
%K 工艺
%K DRIE
%K 平衡
%K 全平行
%K 电容结构
%K 单边
%K 倾斜角
%K 电容极板
%K 电压驱动
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=216B30E876F720BE&yid=2DD7160C83D0ACED&vid=96C778EE049EE47D&iid=0B39A22176CE99FB&sid=F4BDB5452F9F5642&eid=73648F51F187AC5E&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=4&reference_num=5