%0 Journal Article %T 发光多孔硅高分辨电镜分析 %A 鲍希茂 %A 闫锋 %A 柳承恩 %A 郑祥钦 %A 王路春 %A 朱健民 %A 李齐 %J 半导体学报 %D 1993 %I %X 高分辨率透射电子显微镜分析表明,发光多孔硅是由直径为20A左右的晶粒组成的珊瑚状多孔体。多孔硅仍保持原单晶硅衬底的晶体结构框架。 %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=C53ABC3DB00A7EFB&yid=D418FDC97F7C2EBA&vid=F3583C8E78166B9E&iid=94C357A881DFC066&sid=3224764AEAFCF8C2&eid=90612DF06FCE4D55&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=1&reference_num=0