%0 Journal Article
%T 高温超导薄膜GdBa_2Cu_3O_(7-x)的制备和分析
%A 易怀仁
%A 王瑞兰
%A 李宏成
%A 陆斌
%A 刘维
%A 陈元
%A 尹渤
%A 容锡深
%A 李林
%J 半导体学报
%D 1991
%I 
%X 我们用原位直流磁控溅射的方法,在(100)SrTiO_3,(110)SrTiO_3,(100)LaAlO_3和(100)Zr(Y)O_2衬底上制备了高质量外延生长的GdBa_2Cu_3O_(7-s)高温超导薄膜,重复性非常好.在这四种衬底上生长的超导薄膜最高零电阻转变温度 Tco分别为 93.2、93.1、92.6和 92.5K,77K零场下的临界电流密度分别为 3.0 ×10~6,3 × 10~5,3.6 ×10~6和 1.4 × 10~6A/cm~2.我们用扫描电镜(SEM),透射电镜(TEM),反射高能电子衍射(RHEED)和不同几何结构的X射线衍射研究了薄膜的结构,这些研究结果证明薄膜系外延生长的.
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=842554555CDDD43BA165C8D182F1BB68&yid=116CB34717B0B183&vid=59906B3B2830C2C5&iid=5D311CA918CA9A03&sid=51F9E747BA1ACB45&eid=37F781FD8E744761&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0