%0 Journal Article
%T SOI上PZT铁电薄膜的脉冲准分子激光沉积及其快速退火研究
%A 郑立荣
%A 陈逸清
%A 张顺开
%A 林成鲁
%A 邹世昌
%J 半导体学报
%D 1996
%I 
%X 用ＡｒＦ脉冲准分子激光在ＳＯＩ和Ｐｔ／ＳＯＩ衬底上沉积了Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３铁电薄膜，并用快速退火进行热处理．Ｘ射线衍射、卢瑟辐背散射等分析表明：所结晶的薄膜是以（１００）和（１１０）为主要取向的多晶膜，且结晶情况与热处理温度和时间密切相关；ＰＺＴ薄膜呈现良好的铁电性．
%K SOI
%K 准分子激光
%K 沉积
%K 退火
%K 铁电薄膜
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=C257DF25B289A0DF&yid=8A15F8B0AA0E5323&vid=BCA2697F357F2001&iid=38B194292C032A66&sid=E089FDF3CDAE8561&eid=6ED15D8DCB279BC4&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=3