%0 Journal Article
%T Distribution of Carriers in GeSi/Si Multiple Hetero-Epilayers<br>GeSi/Si多层异质外延载流子浓度的分布
%A ZHANG Xiu lan
%A ZHU Wen zhen
%A HUANG Da ding
%A <br>张秀兰
%A 朱文珍
%A 黄大定
%J 半导体学报
%D 2001
%I 
%X 通过实验确定了一种与 Gex Si1 - x合金表面具有良好电化学界面的电解液 ,利用电化学 C- V方法研究了多层Gex Si1 - x/ Si异质外延材料的载流子浓度纵向分布 .实验结果表明 :采用这种电解液 ,利用电化学 C- V载流子浓度纵向分布测量仪检测 Gex Si1 - x/ Si异质材料的载流子浓度纵向分布 ,重复性好 ,可靠性高
%K Ge
%K x
%K Si
%K 1-x
%K alloy
%K electrolyte
%K electrochemical
%K C
%K V<br>GexSi1-x合金
%K 电解液
%K 电化学C-V
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=1F678333DE46FA9B&yid=14E7EF987E4155E6&vid=BC12EA701C895178&iid=38B194292C032A66&sid=334C61CAF4C8EF4E&eid=6490F0E20C4B41AD&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=2&reference_num=6