%0 Journal Article
%T TiO_2薄膜氧敏特性研究
%A 姚红军
%A 汪荣昌
%A 戎瑞芬
%A 徐飞
%A 金海岩
%J 半导体学报
%D 1997
%I 
%X 金属氧化物（如ZrO2，TiO2等）随氧分压不同而改变其电导率这一性质被广泛地用来制作氧敏传感器．传统的传感器大多采用体材料或厚膜材料，工作时需加高温．本文描述了TiO2薄膜材料与Pt薄膜形成的肖特基势垒高度随氧分区不同而改变的氧敏现象，测定了该肖特基二极管的氧敏特性，讨论了其敏感机理．
%K 二氧化钛
%K 氧敏传感器
%K 半导体薄膜技术
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=78241308C6FDB117&yid=5370399DC954B911&vid=13553B2D12F347E8&iid=F3090AE9B60B7ED1&sid=A67EE05E56DA7F45&eid=231F9A307C169827&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=1&reference_num=0