%0 Journal Article %T AlGaInP/GaAs HBT发射结空间电荷区复合电流的研究 %A 顾伟东 %A 夏冠群 %A 冯先根 %A 吴强 %A P A HoustonA %J 半导体学报 %D 1997 %I %X 本文采用深能级瞬态谱(DLTS)方法直接对Al0.3Ga0.22In0.48P/GaAs异质结双极型晶体管(HBT)的发射结(N-P+结)进行了测试,得到了N型AlGaInP发射区中的深能级的位置、俘获截面以及缺陷浓度.利用这些数据通过单一能级复合的Shockley-Read-Hall公式,计算了发射结空间电荷区(SCR)中的复合电流,探讨了深能级中心对HBT器件特性的影响.本文的理论分析方法可为研制高性能HBT器件所需的材料质量提高提供参考依据. %K HBT %K 异质结 %K 测试 %K 发射结 %K 双极型晶体管 %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=3CCA425781C18AF4&yid=5370399DC954B911&vid=13553B2D12F347E8&iid=F3090AE9B60B7ED1&sid=0B9C8D3D9D6254B2&eid=9409F3EB075DCD5B&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=5&reference_num=1