%0 Journal Article
%T 薄层电阻测试Mapping技术
%A 孟庆浩
%A 孙新宇
%A 孙以材
%J 半导体学报
%D 1997
%I 
%X 利用改进的范德堡法微区薄层电阻测试探针技术对n-Si片上的硼扩散图形进行薄层电阻的测量，并用发度表示其分布，可得到薄层电阻的不均匀度及平均值．这种所谓Mapping技术更有利于评价材料质量．
%K 薄层电阻测试
%K 集成电路
%K Mapping技术
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=AF5EAF0482FC2AC0&yid=5370399DC954B911&vid=13553B2D12F347E8&iid=9CF7A0430CBB2DFD&sid=80BBC722D530DB8D&eid=703F3C1B6594BA64&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=6&reference_num=6