%0 Journal Article
%T 掺铂TiO_(2-x)氧敏薄膜的制备和性能
%A 郑嘹赢
%A 徐明霞
%A 徐廷献
%J 半导体学报
%D 1999
%I 
%X 以钛酸丁酯和无水乙醇分别为原料和溶剂，添加适量稳定剂制成稳定溶胶，用浸涂法在Ａｌ２Ｏ３基片上制备ＴｉＯ２薄膜，经１０００℃Ｈ２气氛下还原制得ＴｉＯ２－ｘ薄膜．最后在氯铂酸甲醛溶液中浸泡得到掺铂薄膜．实验结果表明掺铂薄膜在８００℃下具有良好的氧敏感性和重复性，薄膜在Ｎ２气氛下具有良好的电阻温度特性．本文分析了铂在薄膜中的作用原理．
%K TiO2－x氧敏薄膜
%K 掺杂
%K 铂
%K 氧化钛薄膜
%K 半导体材料
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=CFD73B97AF50F0AC952F4511C33FE37C&yid=B914830F5B1D1078&vid=A04140E723CB732E&iid=708DD6B15D2464E8&sid=92CE31955C2FC520&eid=2E7DE3EE3BC61ED0&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=10&reference_num=9