%0 Journal Article
%T GaAs对称定向耦合光开关的研究
%A 冯浩
%A 李锡华
%A 王明华
%A 吴志武
%J 半导体学报
%D 1993
%I 
%X 本文报道了GaAs对称定向耦合光开关的研制,分析了器件的工作原理和影响串音度的因素。首次实现了电极自对准工艺,减小了电极的套刻误差。在λ=1.15μm下测试器件开关特性,得到了小于—26dB的串音度和13~v的开关电压。用小信号测量法测得器件带宽大于1GHz。这种开关将在GaAs开关列阵中得到应用。
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=AFDAE372E633C3DC&yid=D418FDC97F7C2EBA&vid=F3583C8E78166B9E&iid=94C357A881DFC066&sid=11CEECA6DA9E4AC5&eid=6490F0E20C4B41AD&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=9&reference_num=0