%0 Journal Article
%T 浮区中相变对流和毛细对流对分凝过程的影响
%A 熊斌
%A 胡文瑞
%J 半导体学报
%D 1993
%I 
%X 本文用“迎风有限元”法研究了在微重力条件下包含热毛细对流、相变对流及热和浓度扩散过程的浮区晶体生长过程,特别是半导体晶体生长的分凝效应。分析了不同典型参数条件下的流场、温度场、浓度场、熔化界面及固化界面形状,着重讨论了不同条件下的分凝过程。结果表明,相变对流对分凝有影响,它使固化界面处的杂质浓度增大。增大晶体的生长速度会使熔区变小,使固化界面变得平坦,使熔化界面变尖凸,使分凝程度增大。
%K 晶体生长
%K 浮区法
%K 相变对流
%K 分凝
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=FE2B9C709264E51C&yid=D418FDC97F7C2EBA&vid=F3583C8E78166B9E&iid=94C357A881DFC066&sid=B7BFA4B351E4C682&eid=CAA7BAE04CB631A1&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=8