%0 Journal Article %T 金属包层五层介质光波导的模吸收损耗 %A 马春生 %A 曹杰 %A 刘式墉 %J 半导体学报 %D 1993 %I %X 本文通过求解Helmholtz方程得到金属包层五层介质光波导TE和TM模的场分布方程和特征方程,并以空气/Au/SiO_2/GaAs/AlGaAs五层MOS光波导为例在复平面内数值求解了复特征方程,给出了TE和TM模的吸收损耗的数值结果,讨论了某些波导结构参量对模吸收损耗特性的影响。 %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=68EC1B7F1E9B91EE&yid=D418FDC97F7C2EBA&vid=F3583C8E78166B9E&iid=94C357A881DFC066&sid=FDC7AF55F77D8CD4&eid=1A363081E1FF7014&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0