%0 Journal Article
%T Design of Micro Electro Mechanical System RF Switch<br>悬臂式RF MEMS开关的设计与研制
%A Guo Fangmin
%A Lai Zongshen
%A Zhu Ziqiang
%A Jia Ming
%A Chu Jianpeng
%A Fan Zhong
%A Zhu Rongjin
%A Ge Xiaohong
%A Yang Genqing
%A Lu Wei
%A <br>郭方敏
%A 赖宗声
%A 朱自强
%A 贾铭
%A 初建朋
%A 范忠
%A 朱荣锦
%A 戈肖鸿
%A 杨根庆
%A 陆卫
%J 半导体学报
%D 2003
%I 
%X 介绍了一种制作在低阻硅(3～8Ω·cm)上的悬臂式RF MEMS开关.在Cr/ Au CPW共面波导上,金/Si Ox Ny/金三明治结构或电镀金作为悬置可动臂,静电受激作为开关机理.当开关处于“关断”态,其隔离度小于- 35 d B(2 0～4 0 GHz) ;阈值电压为13V ;开关处于“开通”态,插入损耗为4～7d B(1～10 GHz) ,反射损耗为- 15 d B.另外,还分析了开关的悬臂梁弯曲度与驱动电压的关系,并应用ANSYS软件对开关进行了电学、力学及耦合特性的计算机模拟
%K cantilevered arm
%K low loss
%K isolation
%K finite cell analysis
%K threshold voltage<br>悬臂梁
%K 插入损耗
%K 隔离度
%K ANSYS软件
%K 阈值电压
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=027806B02F075CF2&yid=D43C4A19B2EE3C0A&vid=B91E8C6D6FE990DB&iid=708DD6B15D2464E8&sid=C9D6A9952042973F&eid=C1F642278C6E9D3E&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=6&reference_num=10