%0 Journal Article
%T Physical Vapor Deposition Growth of Ferromagnet/Semiconductor Heterostructure Material--MnSb/Si<br>铁磁/半导体异质结材料MnSb/Si的物理气相沉积生长
%A Peng Changtao
%A Chen Nuofu
%A Zhang Fuqiang
%A Lin Lanying
%A <br>彭长涛
%A 陈诺夫
%A 张富强
%A 林兰英
%J 半导体学报
%D 2003
%I 
%X 采用一种新的生长铁磁/半导体异质结材料的方法——物理气相沉积方法生长了一种铁磁/半导体异质结材料Mn Sb/Si.对所获得的样品进行特征X射线能谱分析表明Mn和Sb在Si衬底上的沉积速率相近,它们的原子百分数之比接近1∶1.X射线衍射分析发现薄膜中形成了Mn Sb相,样品在室温下测出磁滞回线也从侧面验证了存在Mn Sb相.用原子力显微镜对样品的表面进行观察,发现Mn Sb呈有规则形状的小晶粒状,晶粒大小比较均匀,尺寸大多数在5 0 0 nm左右.
%K ferromagnet/semiconductor heterostructure
%K physical vapor deposition
%K MnSb<br>铁磁/半导体异质结
%K 物理气相沉积
%K MnSb
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=468B08ED4B701383&yid=D43C4A19B2EE3C0A&vid=B91E8C6D6FE990DB&iid=94C357A881DFC066&sid=3F419E61BD389CC8&eid=E3C3E274D87A8C16&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=19