%0 Journal Article
%T Blue Light Emission of Porous β-SiC Films<br>多孔β-SiC薄膜的蓝光发射
%A Zhang Zhimin
%A Xie Erqing
%A Lin Hongfeng
%A Ma Ziwei
%A Ye Fan
%A He Deyan
%A <br>张志敏
%A 谢二庆
%A 林洪峰
%A 马紫微
%A 叶凡
%A 贺德衍
%J 半导体学报
%D 2003
%I 
%X 通过射频溅射的方法在单晶硅衬底上沉积了βSiC薄膜,用HF酸(40 % )和C2 H5OH(99% )的混合溶液对βSiC薄膜进行了电化学腐蚀处理,形成了多孔βSiC(PSC)薄膜.利用荧光分光光度计研究了样品的光致发光(PL)特性,用原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM )观察了样品腐蚀前后的表面形貌.结果表明:多孔βSiC薄膜具有较强的蓝光发射特性;通过改变腐蚀时间,可以改变蓝光发射的强度,也可以观察到蓝光红光同时发射的现象;降低HF酸的浓度,蓝光发射峰明显变弱,并对多孔βSiC薄膜的发光机理及其微观结构进行了讨论.
%K 电化学腐蚀
%K 多孔SiC薄膜
%K 蓝光发射
%K PL
%K SEM
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=E127B5EB10CDDF14&yid=D43C4A19B2EE3C0A&vid=B91E8C6D6FE990DB&iid=9CF7A0430CBB2DFD&sid=72D13CE6C162BDF4&eid=D4A72ABDCEDCE1BD&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=4&reference_num=8