%0 Journal Article
%T 锗硅脊形光波导Y分支器的模拟及试制
%A 潘姬
%A 赵鸿麟
%A 杨恩泽
%J 半导体学报
%D 1995
%I 
%X 继研制成功单模脊形锗硅合金光波导后，进一步用这种光波导试制Ｙ分支器．文中用束传播法ＢＰＭ首先从理论上分析了波长λ＝１．３μｍ的光波在分支器中的传播特性，模拟计算了模场的传播及损耗．其次叙述了实际锗硅Ｙ分支器的制造工艺及测量结果．结果表明，激光束耦合进锗硅分支器的输入端后，分支器的二路输出端成功输出均匀的单模光波．
%K 光波导
%K Y分支器
%K 锗硅合金
%K 模拟
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=6B7C12C966E9E4A6&yid=BBCD5003575B2B5F&vid=7801E6FC5AE9020C&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=95D537AC89B28832&eid=5C3443B19473A746&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=2&reference_num=4