%0 Journal Article %T C波段3瓦T形电极硅双极晶体管 %A 张树丹 %A 王因生 %A 李相光 %A 陈统华 %A 谭卫东 %A 郑承志 %A 刘六亭 %A 陈培棣 %J 半导体学报 %D 1995 %I %X 本文报道了一种自对准T形电极结构的硅双极晶体管的制作和实验结果.这种结构的晶体管发射极和基极接触窗口的间距仅0.4μm,发射极排列周期为4μm.测试结果表明,晶体管在4.2GHz下,连续波输出功率大于3W,增益8dB和集电极效率40%;作为振荡应用时。在4.3GHz的振荡频率下,振荡输出功率可达1W,DC-RF转换效率为20%. %K 双极晶体管 %K 硅晶体管 %K 电极晶体管 %K 晶体管 %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=F2449D7DE0A8C12B&yid=BBCD5003575B2B5F&vid=7801E6FC5AE9020C&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=286FB2D22CF8D013&eid=E514EE58E0E50ECF&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=1&reference_num=1