%0 Journal Article
%T A Kind of Thin-Film Stress Sensor Based on Beam-Focusing Multi-Beam Array<br>基于自会聚多光束阵列的薄膜应力传感器
%A Lin Xiaochun
%A Guo Yanyan
%A Hu Zhimin
%A Li Chunzhi
%A Zheng Yae
%A An Yuying
%A <br>林晓春
%A 郭艳艳
%A 胡志敏
%A 李存志
%A 郑亚娥
%A 安毓英
%J 半导体学报
%D 2004
%I 
%X 介绍了一种通过分析二元光束阵列的反射光图像,利用Stoney方程解算出薄膜应力的在线测量传感器.传感器是以二维Dammann光栅和Fresnel波带板所组成的集成二元光学分束器为核心设计的.该传感器可进行各种单晶、多晶和非晶结构材料沉积过程的现场应力测量,灵敏度优于2.5×106Pa,精度优于4.27%.它具有结构简单、测量速度快、适应性强、设备集成度高而且易于安装调试等特点.与计算机自动控制系统相结合,可以应用于半导体集成电路生产线的薄膜生长过程控制
%K binary optical splitter
%K thin film stress
%K in-situ sensor
%K measurement precision<br>二元光学分束器
%K 薄膜应力
%K 现场传感器
%K 测量精度
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=0F8E2496D1870EF9&yid=D0E58B75BFD8E51C&vid=C5154311167311FE&iid=708DD6B15D2464E8&sid=CBBCA10F35A35A94&eid=033F76C1E79F93E7&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=4