%0 Journal Article
%T MOCVD生长的Ⅱ-Ⅵ族化合物固溶体组分的热力学分析——I.ZnS_xSe_(1-x)体系
%A 陆大成
%J 半导体学报
%D 1990
%I 
%X 金属有机化学汽相淀积(MOCVD)通常被认为是一个非平衡过程。然而在生长速度的扩散控制区,可以假定在汽-固界面存在平衡。本文用平衡模型计算了用二甲基锌(DMZ)或二乙基锌(DEZ)与硫化氢和硒化氢为源,生长ZnS_xSe_(1-x)三元合金时,各反应参数对固溶体组分的影响。本模型考虑了汽相中H_2S和H_2Se的热分解,固溶体的非理想行为,计算了生长温度、压力、输入反应室的、Ⅵ/Ⅱ]比和初始氢含量对固溶体成分的影响,并把计算值与实验结果进行了比较。
%K ZnS_xSe_(1-x)
%K MOCVD
%K 热力学
%K 固-汽分配系数
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=ADFBA63A175EFCEB&yid=8D39DA2CB9F38FD0&vid=708DD6B15D2464E8&iid=38B194292C032A66&sid=D5C9DC4EF2F78008&eid=954CE65414DD94CA&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0