%0 Journal Article
%T AlGaAs/GaAs异质结构外延材料均匀性的电光测量
%A 朱祖华
%A 丁纯
%A 丁桂兰
%A 王硕勤
%A 沈浩瀛
%A 彭正夫
%A 王翠莲
%J 半导体学报
%D 1993
%I 
%X 本文介绍了连续波电光检测法(CWEOP—continuous wave electro-optic probing)应用于AlGaAs/GaAs异质结构材料均匀性测量的原理、实验装置和实验结果。扫描电子显微镜电压衬度技术也用于观察测量样片,比较两者的结果发现有较好的对照。最后,讨论了实验结果,并对方法的应用作了展望。
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=035484D547D5551D&yid=D418FDC97F7C2EBA&vid=F3583C8E78166B9E&iid=0B39A22176CE99FB&sid=7E8E8B150580E4AB&eid=39EEF47180459690&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0