%0 Journal Article %T 多量子阱非对称法布里珀罗光调制器的模式波长调整 %A 吴荣汉 %A 陈志标 %A 陈弘达 %A 高文智 %A 赵军 %J 半导体学报 %D 1998 %I %X 本文计算了不同折射率膜层下,非对称法布里珀罗腔模式波长随膜层厚度的变化.分析了在膜层折射率较低时,模式波长随层厚的增加反而减小的机理,并在实验中研究这种现象.利用湿法腐蚀的方法移动模式波长,补偿由生长误差引入的模式波长偏差,从而做到模式波长可控,获得高消光比的器件.同时利用湿法腐蚀方法将模式波长调整到不同位置,测量了不同模式波长位置时器件的调制特性 %K 多量子阱 %K ASFP %K 半导体光电器件 %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=A36A1F2C3B8DC10E&yid=8CAA3A429E3EA654&vid=2A8D03AD8076A2E3&iid=94C357A881DFC066&sid=4B168891B5E5FB30&eid=15251AE9C02726D3&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=3