%0 Journal Article
%T 外延层组分界面状况的X射线双晶衍射测定
%A 朱南昌
%A 李润身
%A 陈京一
%A 许顺生
%J 半导体学报
%D 1995
%I 
%X 本文介绍了一种用Ｘ射线双晶衍射仪测定外延层与衬底界面状况并同时测定外延层点阵常数及组分的方法，只需测量三个衍射，并考虑了晶体表面偏离对称轴的影响．同时，引入了表征界面状态的界面共格因子，讨论了它的意义．实验结果表明：在测定大失配体系外延材料的组分时，同时测定外延层与衬底之间以及外延层与外延层之间的界面关系是必要的．
%K 外延层
%K X射线
%K 双晶衍射
%K 测定
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=7D51A5BE57B13CCD&yid=BBCD5003575B2B5F&vid=7801E6FC5AE9020C&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=ECE8E54D6034F642&eid=F4B561950EE1D31A&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=2&reference_num=2