%0 Journal Article
%T Determination of Optical Constants and Thickness of Semiconductor Thin Films by Transmission Measurement<br>用透过率测试曲线确定半导体薄膜的光学常数和厚度
%A Shen Weidong
%A Liu Xu
%A Zhu Yong
%A Zou Tong
%A Ye Hui
%A Gu Peifu
%A <br>沈伟东
%A 刘旭
%A 朱勇
%A 邹桐
%A 叶辉
%A 顾培夫
%J 半导体学报
%D 2005
%I 
%X 介绍了一种简单而准确地确定薄膜光学常数和厚度的方法．借助于Forouhi-Bloomer物理模型，用改进的单纯形法拟合分光光度计透过率测试曲线，获得半导体薄膜的光学常数和厚度．对射频磁控溅射和直流反应溅射制备的玻璃基板上的α-Si和ZnO薄膜进行了实验，拟合的理论曲线和实验曲线吻合得非常好．计算得到的结果与文献报道的结果和台阶仪的测量结果一致，误差小于4%．该方法对无定形或多晶的半导体薄膜都适用，也可以用于计算厚度较薄的薄膜．
%K 薄膜材料
%K 光学常数
%K 透过率曲线
%K Forouhi-Bloomer模型
%K 单纯形法
%K 透过率
%K 测试曲线
%K 半导体
%K 薄膜
%K 光学常数
%K 计算厚度
%K Measurement
%K Transmission
%K Thin
%K Films
%K Semiconductor
%K Thickness
%K Optical
%K Constants
%K 无定形
%K 误差
%K 测量结果
%K 台阶仪
%K 文献
%K 实验曲线
%K 理论曲线
%K 玻璃基板
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=F3A67EAA4BE37492&yid=2DD7160C83D0ACED&vid=96C778EE049EE47D&iid=0B39A22176CE99FB&sid=B66C5792F4740920&eid=9D9F10A828991FA6&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=2&reference_num=16