%0 Journal Article %T YBa_2Cu_3O_(7-x)超导薄膜的离子束改性 %A 李贻杰 %A 任琮欣 %A 陈国梁 %A 陈建民 %A 邹世昌 %J 半导体学报 %D 1991 %I %X 本文主要研究了离子注入对YBa_7Cu_3O_(7-x)薄膜超导性质的影响.测量了Ar离子注入剂量与超导转变温度T_c之间的关系.实验结果表明,高质量的YBa_2Cu_3O_(7-x) 超导薄膜具有一定的抗辐照性.随着注入剂量的增加,临界电流密度I_c下降很快,但零电阻转变温度T_c却下降较慢.分析和讨论了离子注入对YBa_2Cu_3O_(7-x)中一维Cu-O链和二维Cu-O面的影响,探讨了离子束改性手段在YBa_2Cu_3O_(7-x)超导薄膜图形加工中应用的可能性. %K 超导薄膜 %K 离子束 %K 改性 %K YBaCuO %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=9687A7AB570B1212C0D23B6379977461&yid=116CB34717B0B183&vid=59906B3B2830C2C5&iid=F3090AE9B60B7ED1&sid=06F643376BC2509E&eid=9BF3B0483F192149&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0