%0 Journal Article
%T 硅（外延）片表面结构缺陷的光学无损检测
%A 邓江东
%A 李增发
%A 张光寅
%A 颜彩繁
%A 王宏杰
%J 半导体学报
%D 1996
%I 
%X 反射型魔镜检测方法（Ｒ－ＭＭ）是基于“局域波面畸变”缺陷成像原理的一种光学无损检测方法．我们采用Ｒ－ＭＭ方法检测了大量的硅片和硅外延片，非常方便直观地观测到漩涡缺陷、杂质条纹、管道等十多种反映实际生产工艺问题的缺陷，经化学腐蚀对比实验表明，检测结果是可靠的．在本文中，我们还着重讨论了外延层对衬底结构缺陷“放大”作用及其物理机制．并报道了缺陷种类与外延片类型之间存在的一些特殊对应关系．
%K 缺陷
%K 硅片
%K 光学无损检测
%K 半导体晶片
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=F7E3CAF89E8E0DE0&yid=8A15F8B0AA0E5323&vid=BCA2697F357F2001&iid=94C357A881DFC066&sid=683005D16807E4FE&eid=F7BB24011DC0D223&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=5