%0 Journal Article %T GaAlAs/GaAs多量子阶增益耦合型DFB激光器/电吸收型调制器单片光子集成器件 %A 罗毅 %A 蒲锐 %A 孙长征 %A 彭吉虎 %A 平田隆昭 %A 江口匡史 %A 中野义昭 %A 多日邦雄 %J 半导体学报 %D 1996 %I %X 我们在国际上率先提出将增益耦合型分布反馈式(GC-DFB)半导体激光器作为激光器/调制器单片集成器件的光源.为了简化制作工艺,进一步提出激光器的有源层与调制器波导共用同一组分和同一结构.本文从理论上分析了该新型器件的可行性,优化设计了器件结构.在此基础上,采用金属有机化合物化学汽相外延技术(MOCVD)在国际上首次研制成功了该种增益耦合型DFB激光器/电吸收型调制器单片光子集成器件.器件阈值电流为35mA,在—5V调制电压下消光比达5dB.静态调制过程中,激射波长与阈值没有变化. %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=7883C08D3481B215&yid=8A15F8B0AA0E5323&vid=BCA2697F357F2001&iid=94C357A881DFC066&sid=15251AE9C02726D3&eid=EA64BD0B2FF6E786&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0