%0 Journal Article
%T Room Temperature Luminescent Properties of Si-Based Fabry-Perot Microcavity<br>硅基法布里-珀罗微腔的室温发光
%A 王燕
%A 但亚平
%A 岳瑞峰
%A 刘理天
%J 半导体学报
%D 2003
%I 
%X 提出了一种新型基于法布里 -珀罗 (F- P)微腔的发光器件结构 .它采用 PECVD方法制备的非晶硅 /二氧化硅结构作为微腔中的布拉格反射腔 ,非晶碳化硅薄膜作为中间光发射层 ,通过对一维方向光子的限制 ,使发光层荧光强度增强 ,谱线变窄 .通过调节发光层和反射腔膜厚及折射率 ,可以精确控制发光峰位 .实验结果证明该结构可望实现全硅基材料的强室温可见光发射 .
%K 法布里-珀罗(F-P)微腔
%K 碳化硅
%K 光致发光
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=2675A318216476D901A725CB7DE6ABF9&yid=D43C4A19B2EE3C0A&vid=B91E8C6D6FE990DB&iid=CA4FD0336C81A37A&sid=CB423C9A71560A74&eid=4F2F18DD6F870C2C&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=5