%0 Journal Article
%T 半导体材料与器件生产工艺尾气中砷、磷、硫的治理及检测
%A 闻瑞梅
%A 梁骏吾
%A 邓礼生
%A 彭永清
%J 半导体学报
%D 1995
%I 
%X 本文研究了化合物半导体材料、器件生产工艺过程中排出的有毒物质砷、磷、硫及其化合物的治理方法．还研究了这些有毒物质的低温富集取样及快速、灵敏的分析监测方法，并与其它经典的方法作了对比．
%K 生产工艺
%K 尾气
%K 砷
%K 磷
%K 硫
%K 治理
%K 检测
%K 半导体材料
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=F67E7F6D54744FCA&yid=BBCD5003575B2B5F&vid=7801E6FC5AE9020C&iid=38B194292C032A66&sid=847B14427F4BF76A&eid=5D9D6A8FC2C66FD8&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=3&reference_num=2