%0 Journal Article %T 高开关比(I_(on)/I_(off))a-Si TFT %A 熊绍珍 %A 孟志国 %A 代永平 %A 周祯华 %A 张建军 %A 莫希朝 %A 李德林 %A 赵庚申 %A 徐温元 %J 半导体学报 %D 1994 %I %X 本文报道了采用倒置交错结构(Ta/(Ta2O5)SiNx/in+a-Si/A1)的TET矩阵研究结果.其关态电流(I_off(-5V))在5—7×10 ̄-14A(对W/L=10),开态电流I_on(Z0V)大于10μA,I_on/Ioff在108量级,场效应迁移率可达0.79cm2/V.s. %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=4D3139B4071586F5&yid=3EBE383EEA0A6494&vid=23CCDDCD68FFCC2F&iid=0B39A22176CE99FB&sid=B47A0E731AF43EB2&eid=5E25104E99903E8A&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0