%0 Journal Article %T 蝶形电极结构载流子注入全内反射交叉脊形光波导开关 %A 李宝军 %A 刘恩科 %J 半导体学报 %D 1997 %I %X 分析了一种蝶彩电极结构交叉脊形光波导开关.这种结构可使波导交叉角增大,反射损耗降低,传输端的消光比提高,波导的数值孔径变大,且有较小的串音. %K 硅 %K 光波导开关 %K 交叉脊形 %K 电极结构 %U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=A3A7DA21C59B7D1D&yid=5370399DC954B911&vid=13553B2D12F347E8&iid=E158A972A605785F&sid=C1B34927D429E92F&eid=B8F8200D88DDC7D6&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=3&reference_num=3