%0 Journal Article
%T 退火处理对氧化锌透明导电膜的结构及电学特性的影响
%A 马瑾
%A 计峰
%A 李淑英
%A 马洪磊
%J 半导体学报
%D 1998
%I 
%X 采用真空蒸发技术，以醋酸锌和氯化铝作为蒸发物质，在加热的玻璃衬底上制备出氧化锌和铝掺杂的氧化锌透明导电薄膜．研究了氢气、空气和真空退火处理对制备薄膜的结构及电学性能的影响
%K 氧化锌
%K 透明导电膜
%K 退火
%K 结构
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=C1BF59D5AF51390E&yid=8CAA3A429E3EA654&vid=2A8D03AD8076A2E3&iid=B31275AF3241DB2D&sid=7D1E6EEC2019967D&eid=DA4893B5F9885621&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=4&reference_num=2