%0 Journal Article
%T 高质量栅氧化层的制备及其辐照特性研究
%A 张兴
%A 王阳元
%J 半导体学报
%D 1999
%I 
%X 通过大量工艺实验开发了采用低温Ｈ２－Ｏ２合成氧化方法制备薄栅氧化层的工艺技术，得到了性能优良的薄栅氧化层，对于厚度为３０ｎｍ的栅氧化层，其平均击穿电压为３０Ｖ，Ｓｉ／ＳｉＯ２界面态密度小于３．５×１０１０ｃｍ－２．该工艺现已成功地应用于薄膜全耗尽ＣＭＯＳ／ＳＯＩ工艺中．同时还开展了采用低温Ｈ２－Ｏ２薄栅氧化工艺制备的全耗尽ＣＭＯＳ／ＳＯＩ器件的抗总剂量辐照特性研究，采用低温Ｈ２－Ｏ２合成氧化方法制备的ＳＯＩ器件的抗辐照特性明显优于采用常规干氧氧化方法制备的器件，Ｈ２－Ｏ２低温氧化工艺是制备抗核加固ＣＭＯＳ
%K CMOS／SOI
%K 薄栅氧化层
%K 制备
%K 辐照特性
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=DDA92D11DF2D31B7&yid=B914830F5B1D1078&vid=A04140E723CB732E&iid=B31275AF3241DB2D&sid=F204392B3B11C3BD&eid=89389F643CA3F778&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=2&reference_num=7