%0 Journal Article
%T 采用混合结构定子的压电超声微电机的固有频率特性分析
%A 张健
%A 沈德新
%A 王渭源
%J 半导体学报
%D 1997
%I 
%X 本文首次采用了Rayleigh－Ritz方法来分析微机械中经常采用的多层膜结构（混合结构）定子的固有振动特性．研究了平面内应力（in－planestress）和弯曲应力（flexuralstress）对固有频率的影响．模拟计算和实验结果符合得较好．此外还讨论了定于有关参数对固有频率的影响．
%K 半导体
%K 微电子机械学
%K 压电超声微电机
%K 固有频率
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=4B72556111127916&yid=5370399DC954B911&vid=13553B2D12F347E8&iid=38B194292C032A66&sid=D2742EEE6F4DF8FE&eid=F9F74EC1AA08A7B9&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=1&reference_num=0