%0 Journal Article
%T Ar~＋激光辐照对GaAs（100）表面硫钝化的影响
%A 朱永强
%A 张桂墙
%A 蔡颂仪
%A 郝炳权
%J 半导体学报
%D 1994
%I 
%X 本文用Ｃ－Ｖ法、金相腐蚀法、Ｘ光电子谱（ＸＰＳ）、俄歇电子谱（ＡＥＳ）研究ＧａＡｓ表面硫钝化膜和激光辐照硫化的效果．
%K 砷化镓
%K 硫化物
%K 钝化
%K 氩离子激光
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=9FE3AD82F2825E544357AC5D908D0386&yid=3EBE383EEA0A6494&vid=23CCDDCD68FFCC2F&iid=5D311CA918CA9A03&sid=DFBC046213B3DD86&eid=BA305A52E2EE9350&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=1